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河南省多晶硅工程技術研究中心
來源: 作者:中硅高科管理員 發(fā)布時間:2022年08月17日
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  河南省多晶硅工程技術研究中心(以下簡稱“多晶硅工程中心”),于2007年6月由河南省科技廳批準建設(豫科計[2007]10號),自2007年12月建成投入使用。

  經(jīng)過持續(xù)的的建設和發(fā)展,多晶硅工程中心建成了氯硅烷分離提純平臺、四氯化硅氫化平臺、多晶硅還原平臺、多晶硅高純后處理平臺、還原尾氣干法回收平臺、硅基電子氣體試驗平臺、光纖四氯化硅試驗平臺和測試分析中心。其中測試分析中心已通過CMA認證和CNAS認可,可以對外提供56項權威硅材料相關檢測服務。現(xiàn)有多晶硅實驗用大型設備和高純物料專用檢測儀器近二百臺套,擁有技術人員和管理人員135人,其中中高級研究人員80人。

  多晶硅工程中心以“打造一個以多晶硅為主體的高純半導體材料及新能源材料生產(chǎn)工藝和裝備技術、檢測分析技術的研發(fā)平臺;同時打造為中硅高科技術創(chuàng)新的源泉、國內(nèi)多晶硅技術人才的搖籃“為宗旨。一直以多晶硅材料產(chǎn)業(yè)對低單耗、高品質(zhì)、清潔生產(chǎn)的制備技術迫切需求為出發(fā)點,以關鍵技術的自主創(chuàng)新、兼顧吸收創(chuàng)新、集成創(chuàng)新為指導思想,開展多晶硅核心技術、關鍵工藝技術以及關鍵裝備的研究,開展可能引導多晶硅產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級的戰(zhàn)略性、前瞻性的新理論、新技術、新工藝、新裝備的研發(fā),培養(yǎng)產(chǎn)業(yè)工程技術創(chuàng)新人才以及促進重大的科技成果應用;為我國多晶硅材料大規(guī)模、低單耗、高品質(zhì)、清潔生產(chǎn)制備技術提供核心技術支撐,為國內(nèi)的多晶硅產(chǎn)業(yè)提供技術服務。

  自成立以來,先后完成國家863計劃課題、國家科技支撐計劃課題以及省市科研項目等近百項,申請專利100多項,多項成果獲得國家科技進步獎、省市和行業(yè)學會的科技獎勵,擁有多項具有自主知識產(chǎn)權的多晶硅生產(chǎn)工藝及裝備系統(tǒng)技術,打破了美、日、德等國的技術封鎖和市場壟斷,推進了國家優(yōu)先重點發(fā)展的多晶硅高技術產(chǎn)業(yè)化進程,促進電子信息產(chǎn)業(yè)、太陽能光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,在上級領導單位和依托單位的大力支持下,本中心已成為國內(nèi)領先的多晶硅制備工程技術研發(fā)平臺,國內(nèi)多晶硅技術人才的培養(yǎng)搖籃,企業(yè)技術創(chuàng)新的源泉。

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